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一步法硅片上生長和轉移石墨烯
 新加坡的科學家發現了一步法生長和轉移石墨烯到硅片和其它的硬質基底
上。這項發現來自新加坡國立大學(NUS),由 Loh Kian Ping 教授主導,將迎
來石墨烯在高價值領域的應用。
這項突破,受到甲殼蟲和和樹蛙腿附著水下的葉子的啟發,被認為是目前為
止實現石墨烯在硅片上生長和轉移的第一個已發布的技術這項技術使石墨烯應
用在光電產品成為可能,像光電調節器、晶體管、芯片傳感器和隧道結。這項發
現最早在Nature 上發布。
Loh 教授曾在一份聲明中表示:雖然柔性石墨烯有很多潛在的應用,但是目
前為止大部分半導體組件是在硬質基底比如說硅和石英上運行的。
作為這項論文的第一作者 Gao Libo 博士同時也是NUS 理學院石墨烯研究中
心的一名研究員。他在涂覆硅襯底的銅催化層上生長了石墨烯,石墨烯生長好后,
銅被腐蝕掉,而石墨烯氣泡形成的毛細管道固定住了。這與甲殼蟲和樹蛙的退粘
附在水下的葉子上很像。毛細管道能夠幫助石墨烯覆在硅表面同時防止石墨烯在
催化劑銅箔腐蝕過程中發生分離。這樣石墨烯覆在了硅層上。為了促進毛細管道
的形成,Gao 博士采用將氣體注入硅片,這能幫助調整界面性能促進在液體滲透
過程中毛細管通道的形成,添加的表面活性劑能幫助消除轉移過程中褶皺的形成
這種“面對面”轉移技術被認為同樣適用于半導體批量生產線和在硅片上制
造大規模集成電路。
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